仪器型号:Keithley 4200 A-SCS
测试内容:IV测试单元,±210 V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模块,100 fA 测量分辨率,以及带可选前放的 0.1 fA 测量分辨率
样品要求:有效辐射面积70mm x 70mm
应用范围:半导体器件的测试,实现I-V和C-V等特性表征
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